相比起Mota800光刻机相比，Mota400光刻机一开始的时候，零部件的国产化率就要高出很多。
像是Mota800光刻机刚出的时候，国产化率只有百分之二十几，而到了现，Mota400光刻机的国产化率直接是百分之四十起步的。
提升了十几个百分点。
这疑来讲，是一个相当巨大的进步。
&400光刻机属于第二代光刻机，是Mota800的升级版产品。
可以实现最小400nm的工艺节点，当然，通过特殊的工艺制程的话，可以生产更低节点工艺的芯片。
只不过成本上面，可能会是稍稍贵了那么些。
光刻机最为重要的，就是光源。
现采用的光源都属于深紫外光。
第一代光刻机采用的波长436光源，现的光刻机采用波长365光源。
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