凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。
当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗?
简单计算就能知道,波长会降低到132纳米!
这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小!
以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了!
林本坚提出来了这项技术,兴致勃勃地跑出去推销,但是,全部都吃了闭门羹!
美国、德国、日本,一个个的光刻机巨头,面对着这个说法都是嗤之以鼻:在精密的机器中加入水,成为一个浸润环境,就不怕水漏了吗?短期来看,这个办法可能会成功,但是长期来看,根本就是在走弯路!
尤其是巨头尼康,决定在157纳米的光源上研究,根本就不搭理林本坚这种歪门邪道。
就像是数码相机一样,当年柯达首先研制出来数码相机,但是害怕因此威胁到胶片的生意,所以他们采用的办法就是将数码相机藏起来,不让别人知道!
尼康在157纳米的道路上走到黑,而此时名不经传的阿斯麦却注意到了这个弯道超车的机会,对他们来说,这是一个迅速追赶世界先进水平的机会!
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