半导体领域,很多产品都分软件和硬件两大类,像电脑、手机等等。
晶圆生产也是如此。
光刻机、生产线属于硬件设备。
除了这些设备,还有一个更重要的软件,必须通过这些控制软件来实现晶圆的生产。
90年代末,ibm抢占了cim系统发展的先机,成为霸主。
半导体领域的工业软件统称为cim系统。
它借助计算机的控制与信息处理功能,帮助半导体工厂实现产品的自动化生产。简而言之,cim系统就是半导体工厂里的总指挥官。
半导体产业链环节多、周期长,cim系统可以保证每一个环节的设备,都能按照要求来执行命令,每一个工艺的参数都没有偏差,每一个晶圆的缺陷都能有据可循,每一台设备都能被高效利用。
这些环节的实现,得益于cim的四个功能:对生产资料及人力资源的调配管理功能,编程、建模等设计功能,自动化制造功能及质量控制功能。这些功能由不同软件实现。
&系统大致可以划分为三大类:生产系统、设备系统、质量系统。生产系统负责生产管理,以mes为代表;设备系统负责自动化及设备管理,其中eap最具代表性。质量系统负责品质管理,如yms。
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