随后光刻机的反应室再一次开始氧化反应,在晶圆的氧化层上再沉淀了一层导电多晶硅之后,林文再次进行蚀刻。
芯片不是一层,而是有很多层这样的结构,就像传说中的黄角湾立交桥一样。
每一层蚀刻完毕之后,要在线路上涂上一层杂质原子以改变硅的导电率。
四层之后,再挖出上下接触孔,将金属合金安装在孔中,以形成集成电路的接触和互连结构。
重复以上过程,直到完全全部集成电路。
十六个小时后,林文终于蚀刻完毕,将这片小小的薄片从晶圆上切割了下来,封装进早已准备好的外壳中。
这样,第一枚手工制造的芯片就完成了。
由于是全手动操作,许多苛刻的条件和精密的仪器都不需要了,环境也不用做到恒温无微尘,因为除了氧化之外几乎没有化学反应。
整个芯片实验室的工作人员全都惊呆了。
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